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是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。
为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。为达到*配置，选择真空系统时，应考虑下述各点：
1、确定真空度在确定了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的真空度，因为系统的真空度决定了系统的*工作真空度。一般来讲，系统的真空度比系统的工作真空度低20%，比前级泵的真空度低50%。
2、确定工作真空范围先必须检查确定每一种工艺要求的真空度。因为每一种工艺都有其适应的真空度范围，必须认真研究确定之。
3、主真空泵的选择计算s=2.303v/tlog（p1/p2）其中：s为真空泵抽气速率、v为真空室容积、t为达到要求真空度所需时间、p1为初始真空度、p2为要求真空度。
4、被抽气体种类与抽气量检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。因为如果被抽气体种类与真空泵内液体发生反应，泵系统将被污染。同时必须考虑确定合适的排气时间与抽气过程中产生的气体量。
5、真空容积检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。
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